南京气体管道设计流程

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调合填料。南京气体管道设计流程

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。南京气体管道设计流程管道系统应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。

设计气体管道时，有一些非常关键的注意事项需要考虑，以下是一些重要的指导原则。首先，规划气体管道的都应该理解管道所承受的压力的大小和所用的材料的强度。管道应有足够的强度来承受压力，以保证在输送气体期间不会发生任何事故。此外，此时应该考虑到管道的耐气候性以及使用寿命等问题，保证管道的正确运用。其次，在设计实验室气体管道时，必须考虑安全问题。对于有毒、易燃或其他危险气体使用的管道，管道的设计必须考虑到几个方面。如外部环境条件对管道安全的影响，如防护要求，必要时要加强管道的加固和绝缘，避免管道损坏，提高管道的防护能力等方面。

实验室气体采用集中供气方式，由实验室外专门使用供气区域用管路引进。除了洁净空气由空气压缩系统直接产生外，其余气体都是采用高压气瓶供气。每种气体都要有主供和备供气瓶，并安装自动切换面板进行供气控制，保证不间断供气。另外主要的控制阀门和减压阀门都应安装在实验室外。实验室气体由不锈钢管（BA级）路输送，一般1.5米内并必须有支架固定在墙面。在实验室内所有管路安装在天花板下方，沿墙进行明设。所有管路标明连接的气体。气体管路每隔1.5米的距离，都要有明确标示，同时指示气体的流向。可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。

实验室高纯气体管道设计还需要考虑到管道的干燥和净化处理。在实验室中，一些气体需要经过干燥和净化处理，以去除其中的杂质和水分，以确保气体的纯度和稳定性。因此，在管道设计中需要设置相应的干燥和净化设备，以满足实验的要求。实验室高纯气体管道设计需要进行安全评估和测试。在设计完成后，需要对管道系统进行安全性评估和试运行，以确保其能够正常工作并满足实验的要求。在试运行期间，需要对气体的流量、压力和纯度等进行监测和记录，并进行必要的调整和改进，以确保系统的稳定性和安全性。综上所述，实验室高纯气体管道设计是一个复杂而又重要的工作。通过对气体特性、实验室布局、管道安全性、干燥净化等方面的综合考虑，设计师能够设计出安全、高效的管道系统，为实验室的科研工作提供可靠的支持。希望本文能够为您了解实验室高纯气体管道设计的流程提供一些帮助。气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。药厂气体管道设计服务商

压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。南京气体管道设计流程

特种气体供应系统具体方式如下：现场制气、管道供气，这种供气方式时将制气设备建造在用气量较大或者用气品种较多的工厂内或按区域设置供应周边各单位用气；1－中压贮气罐；2－调压阀组；3－气体过滤器；4－液态气体贮罐；5－汽化器；6－安全阀；7－自动控制阀；8－气体纯化装置；9－流量计；10－末端气体过滤器；11－末端气体纯化器；12－用气点；13－高压气体压缩机；14－高压气体贮罐（P=15~20MPa）图A为采用液态气体贮存气体，中压贮罐。作为缓冲罐的供应系统。气体纯化设备设在工厂内，实际上在各用气工厂还应设置各种过滤精度的气体过滤器、计量仪器、分析仪器等，有的工厂对高纯气体中杂质含量控制十分严格，此时还需安装末端提纯设备。图B为采用高压（P=15~20MPa）气体贮罐的供气系统，常用于氢气供应系统中，设高压气体压缩机从中压贮气罐中吸气经压缩到15~20MPa送入若干个高压贮气罐组储气，根据供气用气的平衡，高压贮气罐放气经二级调压阀组减压后由自动控制阀送入供气系统。南京气体管道设计流程